加工特色：
．厚度公差 ± 0.01 mm
．平面度可达 0.1 mm
．厚度变异(TTV) < 0.02 mm
改变厚度及表面平坦
产品应用
研磨抛光应用于：
．车用压力传感器
．白金温度传感器
．晶圆长晶载板
九豪提供研磨、抛光加工基板，可符合客户对厚度及平坦度的高精密要求
透过表面处理，可满足客户细小线径线宽之高精度制程要求
改变厚度及表面平坦
．厚度公差 ± 0.01 mm
．平面度可达 0.1 mm
．厚度变异(TTV) < 0.02 mm
研磨抛光应用于：
．车用压力传感器
．白金温度传感器
．晶圆长晶载板
| 规格 | 标准品 | 特制品 |
|---|---|---|
| 厚度公差 | ± 0.02mm | ± 0.015mm |
| 厚度变异(TTV) | < 20µm | < 15µm |
| 曲翘度 | 0.003 mm/mm | 0.0025 mm/mm |
| 表面刮痕 | 1.Scratch多，且深度较深。2.Scratch深度 > 20µm | 1.Scratch多，且深度较浅。2.Scratch深度 10~20 µm |
| 平面度 | < 100 µm | < 80 µm |
| 规格 | 标准品 |
|---|---|
| 厚度公差 | ± 0.02mm |
| 厚度变异(TTV) | < 10µm |
| 曲翘度 | 0.003 mm/mm |
| 表面刮痕 | 目视无刮痕 |
| 平面度 | < 80 µm |
| 表面粗糙度(Ra) | 0.02 ~ 0.05 µm |
