加工特色：
．厚度公差 ± 0.01 mm
．平面度可達 0.1 mm
．厚度變異(TTV) < 0.02 mm
改變厚度及表面平坦
產品應用
研磨拋光應用於：
．車用壓力感測器
．白金溫度感測器
．晶圓長晶載板
九豪提供研磨、拋光加工基板，可符合客戶對厚度及平坦度的高精密要求
透過表面處理，可滿足客戶細小線徑線寬之高精度製程要求
改變厚度及表面平坦
．厚度公差 ± 0.01 mm
．平面度可達 0.1 mm
．厚度變異(TTV) < 0.02 mm
研磨拋光應用於：
．車用壓力感測器
．白金溫度感測器
．晶圓長晶載板
| 規格 | 標準品 | 特製品 |
|---|---|---|
| 厚度公差 | ± 0.02mm | ± 0.015mm |
| 厚度變異(TTV) | < 20µm | < 15µm |
| 曲翹度 | 0.003 mm/mm | 0.0025 mm/mm |
| 表面刮痕 | 1.Scratch多，且深度較深。2.Scratch深度 > 20µm | 1.Scratch多，且深度較淺。2.Scratch深度 10~20 µm |
| 平面度 | < 100 µm | < 80 µm |
| 規格 | 標準品 |
|---|---|
| 厚度公差 | ± 0.02mm |
| 厚度變異(TTV) | < 10µm |
| 曲翹度 | 0.003 mm/mm |
| 表面刮痕 | 目視無刮痕 |
| 平面度 | < 80 µm |
| 表面粗糙度(Ra) | 0.02 ~ 0.05 µm |
