產品訊息

研磨、拋光基板

九豪提供研磨、拋光加工基板,可符合客戶對厚度及平坦度的高精密要求

透過表面處理,可滿足客戶細小線徑線寬之高精度製程要求

改變厚度及表面平坦

加工特色:

.厚度公差 ±  0.01 mm

.平面度可達 0.1 mm

.厚度變異(TTV)  <  0.02  mm

產品應用

研磨拋光應用於:

.車用壓力感測器

.白金溫度感測器

.晶圓長晶載板

研磨加工規格:

規格 標準品 特製品
厚度公差 ± 0.02mm ± 0.015mm
厚度變異(TTV) < 20μm < 15μm
曲翹度 < 3/1000 < 2.5/1000
表面刮痕 1.Scratch多,且深度較深。2.Scratch深度 > 20μm 1.Scratch多,且深度較淺。2.Scratch深度 10~20 μm
平面度  < 100 μm < 80 μm

拋光加工規格:

規格 標準品 特製品
厚度公差
厚度變異(TTV)
曲翹度
表面刮痕
平面度

96%Al2O3基板表面特性

96%Al2O3研磨加工基板表面特性